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第419章 工作进度 (1 / 7)
光子芯片实验室里,沈明轩面前的屏幕已经亮了一夜。
五轮测试曲线叠在同一个坐标轴上,终点都停在0.8dB/Cm附近,最下面那条线只比上一条低了一个很小的尖,系统自动判定为无有效改善。
年轻工程师站在旁边,手里的记录板换了三张纸,刻蚀角度,时间窗口,温度曲线,清洗间隔,每一项参数后面都有手写备注。
“沈老师,梯度刻蚀的优化空间是不是到极限了?”
沈明轩没有马上回答,他把五轮工艺参数并排拉开,鼠标从第一列滑到最后一列,屏幕光落在他眼镜片上。
每一项都动过,每一次都把结果带回0.8附近。
工程师把记录板放低了一点,手指在边角压出一道折痕。
沈明轩把第五轮数据放大,看了一遍波导侧壁粗糙度测量值,又切回损耗曲线。
“不是到极限。”
他把鼠标停在0.8那个点上。
“是我们还没找到关键。”
工程师点头,没再说话。
沈明轩站起来,椅子往后退了一小段,实验室玻璃门上映出他眼下的青色。
“刻蚀组把第四轮和第五轮的边界条件拆开,测试组重跑重复性。”
杭州那家封装设备企业门口,林知行站了五分钟才推门进去。
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