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第412章 光损耗破0.8 (2 / 8)
0.95→0.88,梯度刻蚀后,侧壁粗糙度从12nm降到8nm。
第三个箭头。
0.88→0.82,刻蚀时间窗口继续收窄,端面损耗没有继续放大。
第四个箭头画到一半,他的笔停住。
曲线终点旁边,测试条件一行一行列着,1550nm,室温,TE模式,样片编号G-4-17,重复测试三次。
最终读数,0.8dB/Cm。
旁边的工程师低头确认原始文件名,又看向主屏:“沈老师,重复测试三次都在0.8上下,偏差没有超。”
沈明轩把鼠标移到原始数据导出按钮上,保存,备份,签名。
工程师伸手想把打印稿拿去复印,沈明轩先按住了。
他把四个箭头重新看了一遍,红笔从1.1一路滑到0.8。
实验室里仍没人说话。
年轻工程师终于没忍住,低声说:“破了。”
沈明轩退后半步,看着屏幕上的四条线。
“0.8。”
他把红笔盖好,放在测试台边。
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